楚千澜抬眼,目光从电脑屏幕上的舆情数据移开,落在王世杰手中的报告上:“直接说核心数据和关键进展。”
王世杰点了点头,翻开报告,“2010年深蓝半导体全年营收28亿,净利润3.2亿。因为对外投资以及科研投入巨大,亏损总额度达到72亿。
核心业务中,45纳米芯片量产良率稳定在92%,主要供给繁星科技使用;
通过多重曝光技术生产的其他45纳米芯片,已向大江无人机、恒川机械等关联企业小批量供货,良率保持在89%以上;
65纳米光刻机复刻项目已完成90%核心部件国产化,仅剩光学镜头和伺服电机两个模块待突破;
45纳米放大版光刻产线研发按节点推进,光源系统已完成实验室验证,主体结构设计进入收尾阶段。”
他顿了顿,补充道:“材料端,华宇特气的9种核心特种气体已实现稳定供应,良率均达99.5%以上;
先锋晶圆的8英寸硅片良率提升至88%,完全满足45纳米芯片生产需求;
晨光化工的193nm光刻胶量产良率突破93%,成本较进口产品降低30%,已实现全面替代。
掩模版与抛光垫已经完成研发,接下来就是找工厂生产。另外还有三种材料即将完成研发。到年底,深蓝半导体所需要的各种材料,都可以在国内自给自足!”
如今的深蓝半导体,虽然原材料充足,但那都是楚千澜下达命令,提前囤积而来,用一点少一点。
而随着各种半导体原材料技术投入生产,芯片生产所需材料也会逐步得到解决。
楚千澜指尖轻叩桌面,目光落在“材料自给自足”的标注上,眸色渐亮:“年底实现全材料国产化,这个进度超出预期。但不能掉以轻心,要确保每种材料的稳定性和一致性,避免批量生产时出现良率波动。”
王世杰迅速点头:“楚总放心,我们已经建立材料抽检机制,每批次原材料都会经过三轮检测,关键参数误差控制在规范标准之内。
而且华宇特气、先锋晶圆等企业都已启动扩产计划,明年原材料供应能力还能提升50%。”
他顿了顿,翻到报告下一页,语气带着几分振奋:“还有个好消息,45纳米放大版光刻产线的光源系统,通过女娲系统优化后,功率稳定性提升20%,主体结构设计预计4月份完成,最晚年底前就能实现整机调试。”
“试产不能急于求成。”楚千澜抬手打断,“放大版光刻机是突破专利壁垒的关键,每一个环节都要反复验证。当然,专利申请也不能疏忽。”
王世杰重重点头:“明白!我们已同步启动专利布局,围绕放大版光刻产线的光源优化、结构设计申请了21项概念性专利。在接下来的研发当中,还会将新发现的专利分批申请。
另外,张北光团队在拆解65纳米光刻机时,发现了三项可反向优化的技术点,已融入放大版光刻产线设计。”
楚千澜目光扫过报告中“反向优化技术”的标注:“很好,有先进的经验,我们自然要吸取,但要注意,不要使用有专利保护的技术。对了,放大版光刻产线的研发,有什么困难吗?”
王世杰脸上的振奋稍敛,语气多了几分凝重:“主要难点在光学镜头的国产化适配。
放大版产线的光路设计与原版65纳米光刻机不同,国内厂商生产的镜头在大视场下的成像畸变率始终控制在0.008微米,距离我们要求的0.005微米还有差距。”
他顿了顿,补充道:“张北光团队尝试用女娲系统推演优化镜片镀膜工艺,目前已将畸变率降至0.006微米,还在持续调试,但短期内恐难突破临界值。
另外,伺服电机的高速响应精度也有待提升,高速运转时的扭矩波动会影响工作台定位,进而影响光刻精度。”
楚千澜指尖轻叩桌面,眸色沉静:“光学镜头方面,让恒川机械联合国内顶尖光学厂商组建专项攻坚组,女娲系统会同步提供仿真数据支持,重点优化镀膜层数和材质配比;
伺服电机可以对接龙科院,他们之前协调过军工级电机厂商,或许能提供技术支持。”
他抬眼看向王世杰,语气带着不容置疑的坚定:“这两个核心模块是放大版产线的命脉,必须在年底前攻克。
哪怕投入额外资金,也要确保试产时的精度达标,不能让专利绕开的努力白费。”
王世杰迅速在笔记本上记录:“明白!我这就对接恒川机械和龙科院,成立联合攻坚组,每周同步进度。”
楚千澜微微颔首,换了另一个话题,“两台光刻机的产能如何,现在利用率高么?”
王世杰翻开产能报表,指尖划过数据栏:“65纳米光刻机月产能稳定在2.8万片晶圆,通过多重曝光技术生产45纳米芯片时,月产能会降至1.9万片;
180纳米光刻机产能在3万片左右,至于复刻的280纳米光刻机,并没有启用。
各个关联公司的订单,大概能满足65纳米光刻机75%的产能。
因为被半导体巨头围剿的缘故,很多代工订单都被取消。现在也只有龙科院旗下的部分芯片订单会拿到我们这里生产。”
楚千澜指尖在桌沿轻轻敲击,眸色沉了几分:“产能利用率75%有些偏低,不能让设备闲置。你与曲总沟通一下,那些接受星途EdA工具与星象指令集授权的公司,应该会有订单产生。”
他顿了顿,补充道:“龙科院的订单要保住,但不能过度依赖。
另外,你联系一下沈院士,看看能否将那台250纳米光刻机处理掉。此事要私下里进行,也不要与深蓝半导体有任何牵连。”
王世杰握着笔记本的手指微微一顿,眼中闪过一丝诧异:“处理250纳米光刻机?楚总,这台设备虽然制程落后,但在国内仍有不少中小厂商有需求,直接处理会不会太可惜?”