清晨的黄浦江畔还弥漫着薄雾。
吕辰、宋颜、谢凯三人在路边小店简单吃了碗阳春面，便再次赶往漕河泾工业区，这次的目标是上海试剂总厂。
如果说光刻机是芯片制造的“雕刻刀”，那么超纯化学试剂就是“清洗剂”和“蚀刻液”。
没有达到电子级纯度的酸碱溶液，硅片表面的微量污染就无法去除，精细的电路图形也无法刻蚀出来。
上海试剂总厂的大门不怎么气派，但戒备森严。
厂区围墙更高，门口除了门卫，还有专门的安检人员，对进出车辆和人员都要仔细检查。
“试剂厂很多原料和产品都是易燃、易爆、强腐蚀、有毒的，安全是第一位的。”前来迎接的技术科李科长解释道。
他四十岁上下，身材瘦削，戴着深度近视眼镜，说话语气平和但条理清晰，典型的化工技术人员气质。
在简朴的会议室落座后，宋颜教授直接切入主题，递上一份详细的试剂需求清单。
“李科长，芯片制造对化学试剂的纯度要求，可能比贵厂目前生产的最高等级分析纯还要高出一个数量级。”
李科长接过清单，扶了扶眼镜，仔细阅读起来。
清单上列出了十几类关键试剂，每一类后面都标注着令人咋舌的纯度指标。
氢氟酸（hF）：电子级，金属离子总量＜10ppt（万亿分之一），颗粒物＞0.1μm＜10个\/mL
过氧化氢（h?o?）：电子级，稳定剂含量＜1ppm，金属离子＜1ppb（十亿分之一）
硫酸（h?So?）：电子级，灼烧残渣＜0.1ppm，铁含量＜0.01ppm
硝酸（hNo?）、盐酸（hcl）、磷酸（h?po?）……
有机溶剂：丙酮、异丙醇、N-甲基吡咯烷酮……水分＜10ppm，金属离子＜0.1ppb
李科长的眉头渐渐皱起，但眼神中没有退缩，反而是一种遇到高难度挑战时的专注。
“电子级……ppt级……”他轻声重复着这些术语，“实话说，我们厂目前大批量稳定生产的，最高是优级纯，金属离子控制在ppb级。ppt级的产品，实验室小批量能做，但批次稳定性、一致性是个大问题。”
他抬起头，目光锐利：“不过，难不倒我们。上海试剂总厂的前身是中央研究院化学所的试验工厂，建国后承担了许多特种试剂的攻关任务。高纯试剂的难点不在于原理，而在于工程，如何在整个生产、储存、输送过程中，避免任何可能的污染。”
宋颜教授点头：“这正是我们来寻求合作的原因。我们知道贵厂有国内最强的电子级试剂研发能力。‘星河计划’可以提供明确的需求牵引和部分研发资源，希望与贵厂共同攻关，建立中国自己的电子级试剂生产体系。”
李科长沉吟片刻，手指在桌面上轻轻敲击：“需求很明确，也很紧迫。芯片制造我们虽然不了解细节，但知道它对洁净度的要求是极致的。这样，我先带你们参观一下我们的高纯试剂生产线和分析检测中心，你们对实际工程难度有个直观感受，我们再谈具体合作。”
参观是从相对安全的“超纯水制备车间”开始的。
巨大的离子交换树脂柱排列成行，原水经过多级过滤、反渗透、电去离子，最终产出电阻率高达18.2兆欧·厘米的超纯水。
“芯片清洗用的超纯水，要求比医院注射用水还要高几个数量级。”李科长指着一排监测仪表，“细菌、颗粒物、溶解气体、总有机碳……，每一项都有严格限制。我们的超纯水系统是国内最先进的，但距离芯片制造的要求，还有差距，主要是颗粒物控制不稳定。”
接着是高纯酸生产线，这里的气氛明显紧张起来，所有工人都穿着全套防酸服、戴防毒面具和耐酸手套。
生产线是全封闭的，只有透过厚厚的观察窗才能看到内部情况。
吕辰注意到，在一些标识着“高纯氢氟酸”的银色不锈钢管道旁，阀体表面总有一些难以消除的黯淡痕迹，像是被什么东西咬过一样。
旁边的工具架上，堆着一小筐更换下来的阀芯，个个被腐蚀得面目全非，有的甚至出现了蜂窝状的穿孔。
“看到问题了？”李科长顺着吕辰的目光，苦笑道，“氢氟酸，特别是高温高浓度的氢氟酸，是‘什么都吃’的。不锈钢？几个月就穿孔。特种合金？贵得吓人，也只能撑一两年。这些阀门、泵、管道，每时每刻都在被腐蚀，腐蚀下来的金属离子就直接污染了试剂。”
他拿起一个报废的阀芯，表面布满了麻点：“就这个小小的阀芯，用的是含钼镍基合金，一个就要上百元。这条生产线每年光更换阀门配件就要花几万元，这还是次要的。关键是腐蚀产物污染试剂，让我们的产品纯度卡在ppb级，很难再往上突破。”
谢凯用笔记本快速记录着，同时问道：“不能用塑料或陶瓷吗？”
“塑料耐腐蚀，但强度不够，高温下易变形，而且可能析出有机杂质。陶瓷……”李科长顿了顿，“氧化铝陶瓷我们试过，氢氟酸专吃铝元素，不行。其他陶瓷要么太脆，要么加工难度大，一直没有找到合适的。”
参观继续，来到分析检测中心，这里是全厂最洁净的区域，进入前需要换防尘服、经过风淋室。
实验室内，技术人员正在操作各种仪器，原子吸收光谱、电感耦合等离子体质谱、气相色谱、颗粒计数器……，每一个数据都被认真记录在案。
这里的许多工具都是一次性的，不锈钢长柄勺只用来取一次样，小型储罐用完即弃，连石英烧杯也是限定使用次数后就要报废。
“没办法。”李科长解释道，“高纯试剂的检测，本身就是最容易被污染的环节。工具重复使用，哪怕清洗得再干净，也可能有残留。我们也想让所有接触最终产品的工具，都是一次性使用。但这成本太高了，只能折中，限定使用次数，严格清洗流程。”
李科长补充道：“这还只是检测环节。到了实际使用环节，芯片制造厂需要将试剂从储罐输送到工艺设备，中间要经过几十米甚至上百米的管道、十几个阀门、多个过滤器……，每一个接口、每一个弯头、每一个垫片，都可能成为污染源。”
参观结束，回到会议室时，三人的心情都有些沉重。
技术难度比想象中更大，这不仅仅是配方和工艺问题，而是整个材料、设备、工程体系的系统性问题。
“现在你们明白我们的痛点了。”李科长给大家倒上茶，语气诚恳，“按‘星河计划’的要求提供样品，我们能做到。实验室精心制备，用最干净的容器封装，ppt级的纯度可以挑战。但要说连续化、大规模稳定生产，保证每一批、每一瓶都达到这个标准……”
他摇摇头：“设备材质、管道阀门、甚至一个聚四氟乙烯垫片的老化，都会成为最后那‘零点几个9’的拦路虎。”
会议室陷入了短暂的沉默。
窗外传来试剂厂特有的轻微泵机声，远处铁路上火车驶过的
过了一会儿，吕辰忽然开口：“李科长，您刚才提到陶瓷……，贵厂有没有试过氮化硅或者氧化锆陶瓷？”
李科长愣了一下：“氮化硅？氧化锆？听说过，但国内很少有厂家生产，特别是能加工成复杂形状的。怎么，你们有门路？”
宋颜教授和谢凯对视一眼，眼中都露出了光芒。
“我们红星所有一个工业陶瓷和冶金材料研究中心。”吕辰坐直身体，语气变得兴奋起来，“正在系统研究氮化硅、碳化硅、氧化锆等一系列高性能工程陶瓷。其中氮化硅陶瓷，硬度高、耐磨、耐高温，更重要的是，它对大多数酸碱，包括氢氟酸，都有极好的耐腐蚀性！”
李科长猛地站起身：“你说的是真的？氮化硅耐氢氟酸？”
“千真万确。”吕辰从公文包里拿出几份资料，“这是我们的实验数据。氮化硅在40%氢氟酸、80°c条件下浸泡1000小时，腐蚀速率小于0.01毫米每年。氧化锆的表现同样出色。”
李科长几乎是抢过资料，迅速翻阅起来。
他的手指微微颤抖，眼镜后的眼睛睁得老大。
“这，这如果属实，简直是革命性的！”他抬起头，声音激动，“氢氟酸腐蚀是我们高纯试剂生产最大的痛点！如果阀门、泵体、管道能用这种陶瓷制造，污染问题就解决了一大半！”
宋颜教授适时提出了合作请求：“李科长，我们可不可以提供一批氮化硅、氧化锆陶瓷的小型样件，如阀芯、管道接头、勺具、烧杯等，给你们试用。在实际生产环境中测试一下它们的耐腐蚀性能、对试剂纯度的影响。如果效果理想，我们可以进一步合作，研发定制化的陶瓷化工设备。”
“好！太好了！”李科长连连点头，“我们立即安排试用！不过，光我们试剂厂用还不够。”
他斟酌着用用词：“宋教授，化工领域耐腐蚀设备的需求太大了！如果你们的陶瓷材料真能达到这个性能水平，应用前景不可限量！您看，要不这样？我现在就联系中科院有机化学研究所，他们是国内有机合成化学的权威，对特种反应器、耐腐蚀设备的需求比我们更迫切。”
吕辰三人对视一眼，宋教授点了点头：“这太好了，李科长，我们做研究的，就是要把成果应用在生产一线，能有这个机会，再好不过！”
李科长兴奋道：“那我这就联系有机所的赵主任。”
说着，快步走到办公桌前，摇通了电话：“总机吗？给我接中科院有机化学研究所，找赵主任……，对，就说试剂厂老李有急事！”
半小时后，一辆试剂厂的吉普车载着吕辰三人，驶向位于岳阳路的中科院有机化学研究所。
有机所的环境更像一所大学。绿树掩映的红砖楼里，实验室的窗户透着温暖的灯光，空气中弥漫着淡淡的溶剂气味。
赵主任是一位气质儒雅的学者，听李科长说明来意后，立即表现出浓厚的兴趣。
赵主任握着宋教授的手：“宋教授，你们红星所的工业陶瓷材料我早有耳闻，早在去年，在百工联席会议的备忘录里，就看到你们有这方面的研究，只是没想到你们已经取得如此成果。耐氢氟酸的陶瓷？这在有机合成中太有用了！”
他带着大家来到一间实验室，指着一个复杂的玻璃反应装置：“看，这个反应要用到氟化氢作为催化剂。现在我们只能用昂贵的哈氏合金反应釜，而且每做几次反应就要更换内衬。如果能有陶瓷内衬……”
他又指向另一台设备：“还有这个，高温高压氢化反应，介质腐蚀性极强。现有的金属反应釜容易污染产物，特别是对金属离子敏感的医药中间体合成。”
在有机所的会议室里，一场深入的研讨会随即展开。
吕辰系统介绍了工业陶瓷材料的研究进展，氮化硅、碳化硅、氧化锆、氧化铝增韧氧化锆等陶瓷的力学性能、热学性能、化学稳定性；现有的成型工艺，干压成型、等静压成型、注塑成型；加工能力，可以制造相对简单的管件、阀体、衬套、研磨球等。
赵主任和李科长则从应用端提出了具体需求，反应釜内衬的尺寸精度、密封面的平整度、高温下的尺寸稳定性、与金属法兰的热膨胀匹配、在混合酸碱介质中的长期稳定性……
“需求很明确，技术方向也对。”赵主任总结道，“但要把实验室的陶瓷样品变成工业界敢用的可靠设备，中间还有大量的工程化工作：标准制定、性能测试、可靠性验证、失效分析、工艺优化……”
宋颜教授当即表示：“这正是‘产学研’合作的意义所在。我们红星所提供材料研发和小批量试制能力；有机所和试剂厂提出最真实、最苛刻的应用需求，并负责测试验证；三方共同制定性能标准、试验方法、验收规范。”
他看了看表：“这样，我这就给所里的汤渺教授打电话，他是我们工业陶瓷和冶金材料中心的负责人，应该亲自来上海一趟，当面交流。”
在赵主任的办公室，宋颜教授拨通了红星所的长途电话。
“喂，汤教授吗？我是宋颜……对，我们在上海试剂总厂和中科院有机所……有一个重要的合作机会……”
电话那头，汤渺教授听着宋颜的叙述，声音逐渐激动起来。
“……耐氢氟酸陶瓷？反应釜内衬？太好了！这正是我们材料要找的应用出口！……没问题，我安排一下工作，明天一早就飞上海！……把现有的陶瓷样品种类、性能数据都带上……明白！”
挂断电话，宋颜教授转向众人：“汤教授明天就到。他还会带来我们实验室目前能提供的所有陶瓷样品和详细数据。”
刘主任点了点头：“好啊，真是雷历风行！那我们这边立即成立一个联合项目组。试剂厂、有机所，加上你们红星所，三方联合攻关高性能耐腐蚀陶瓷化工设备项目。第一阶段目标，研制出可用于氢氟酸生产线的陶瓷阀门、管道，以及用于有机合成的陶瓷反应釜内衬原型机！”
李科长也兴奋地补充：“我建议，这个项目不仅仅局限于设备制造。我们可以向上级申请，建立一个特种化工材料与装备联合研发中心，系统研究高性能陶瓷、特种合金、复合材料在苛刻化工环境中的应用。这既有科学价值，更有重大的工业意义！”
窗外的天色已近黄昏，岳阳路上的梧桐树在晚风中沙沙作响。
会议室里，灯光温暖，茶杯里的水汽袅袅升起。
吕辰看着眼前热烈讨论的专家学者们，心中涌起一股暖流。
从光刻胶到精密机械，从超纯试剂到耐腐蚀陶瓷……
“星河计划”像一颗投入湖面的石子，激起的涟漪正在扩散到整个中国工业体系。
它不再是一个孤立的芯片研发项目，而是成为了牵引材料、机械、化工、光学等多个领域协同发展的纽带。
每一个技术难题的攻克，都会催生出一系列新的技术、新的产品、新的产业。
而他们，正站在这个伟大进程的起点。