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2013年10月的海市,秋意渐浓,渊渟芯片产业园的设备调试车间内却暑气蒸腾。中微公司的首台国产刻蚀机刚完成吊装,王健博士带领的良率提升团队就围了上去,拿着精密仪器对设备参数进行校准。林渊穿着防静电服,站在人群中,目光紧盯着显示屏上的实时数据,额头上渗出细密的汗珠——这台设备的适配效果,将直接决定董事会上的承诺能否兑现。

“林总,离子注入剂量调整为每平方厘米5e15,角度偏差控制在0.5度以内,符合模拟测试的最优参数!”王健的声音带着一丝兴奋,他示意工程师启动试生产程序。晶圆从自动传送轨道缓缓送入刻蚀机,机械臂精准地完成定位,激光蚀刻的滋滋声在密闭车间内格外清晰。两个小时后,首片试生产的晶圆被取出,经过检测,芯片电路的线宽偏差仅为0.08微米,远低于设计阈值的0.3微米。

“良率初步检测结果:89.2%!”检测工程师的喊声让车间内瞬间爆发出欢呼声。林渊长舒一口气,这个数据虽然还未达到90%的阶段性目标,但已经远超进口设备调试初期的72%,更重要的是,这是在国产设备上实现的突破。他拍了拍王健的肩膀:“做得好!但不能松懈,我们要在12月底前稳定在90%以上,给董事会一个明确的答复。”

然而,挑战并未就此结束。当天下午,北方华创的技术团队带来了坏消息:其研发的薄膜沉积设备在连续工作4小时后,出现了薄膜厚度不均匀的问题,导致部分芯片的绝缘性能不达标,良率骤降至82%。“主要原因是设备的温度控制系统稳定性不足,进口设备的温度波动范围在±0.1c,而我们的设备在长时间运行后,波动范围会扩大到±0.3c。”北方华创的项目负责人李工满脸愧疚,“要解决这个问题,需要更换更精密的温控传感器,至少需要1个月时间。”

1个月的延误,意味着很可能无法在年底前达到90%的良率目标,刘建国等董事的质疑将再次卷土重来。林渊立刻召集联合攻关小组开会,海因茨博士提出了一个临时解决方案:“我们可以在设备运行过程中,通过AI算法实时监测温度变化,动态调整加热功率,将波动范围补偿到±0.15c以内。虽然精度不如更换传感器,但能暂时满足良率要求,为传感器研发争取时间。”

这个方案需要硬科技研究院的AI团队与设备工程师协同攻关,难度极大。林渊当场拍板:“成立跨部门应急小组,AI团队负责算法开发,设备团队提供硬件参数支持,24小时轮班作业,务必在3天内完成方案落地。”他亲自挂帅组长,每天只睡4个小时,连续三天扎根在调试车间,协调解决算法优化与硬件适配的衔接问题。第三天凌晨,AI温控补偿系统成功上线,设备连续运行8小时后,温度波动范围稳定在±0.12c,良率回升至89.8%。

就在技术团队全力冲刺时,刘建国带着独立监督委员会的成员突然到访产业园。“林总,我们接到匿名举报,说国产设备的良率数据存在造假,特意来现场核实。”刘建国的语气带着明显的质疑,他身后的审计师拿出了检测设备,要求对当天生产的晶圆进行随机抽样检测。林渊坦然应对:“欢迎监督,我亲自带你们去检测车间。”

在检测车间,审计师随机抽取了10片晶圆,经过3小时的精密检测,最终得出的平均良率为89.7%,与团队公布的数据完全一致。刘建国脸上闪过一丝尴尬,但仍不死心:“这只是短期数据,能稳定多久?而且据我所知,你们为了提升良率,每片晶圆的制造成本增加了8%,这算不算是数据造假?”

“成本增加是暂时的。”林渊拿出成本分析报告,“随着设备调试的成熟,AI温控系统的优化成本会逐步摊薄,预计1个月后成本就能回落至原水平。更重要的是,我们通过这次攻关,掌握了薄膜沉积的核心工艺参数,北方华创已经根据我们的经验,优化了传感器设计,下个月交付的改进型设备,成本将比进口设备低30%。”他指着车间里正在组装的第二台国产刻蚀机,“这台设备的国产化率已经达到75%,而进口设备的国产化率不足10%,这才是真正的核心价值。”

刘建国沉默不语,他不得不承认,国产设备的进展超出了预期。但离开产业园时,他仍留下话:“12月底的董事会,我会再次要求审计,希望到时候能看到稳定的90%良率。”林渊望着他的背影,对身边的赵宇说:“压力就是动力,我们必须在两个月内完成目标,不仅要证明项目的可行性,更要让所有人明白,掌握核心技术才是长久之道。”

为了加快进度,林渊做出了一个大胆的决定:将原本用于14纳米工艺研发的5亿美元资金,临时调拨3亿美元用于国产设备的技术升级,重点攻关温控传感器、高精度激光发生器等核心部件。这个决定立刻引发了技术团队的争议,负责14纳米研发的张博士直言不讳:“林总,14纳米工艺的研发已经到了关键阶段,暂停资金投入会延误至少半年进度,可能会错失市场先机。”

“14纳米的先机固然重要,但28纳米的自主化是根基。”林渊在技术会议上坚定地说,“如果我们连28纳米的设备都依赖进口,就算研发出14纳米技术,也会因为设备被卡脖子而无法量产。现在投入3亿美元升级国产设备,未来14纳米工艺的设备成本能降低40%,这笔账很划算。”他补充道,“我已经与二期大基金沟通,他们同意为14纳米研发追加2亿美元专项投资,确保研发进度不受影响。”

资金的注入让国产设备升级速度大幅加快。11月中旬,北方华创的改进型薄膜沉积设备交付,新的温控传感器将温度波动范围稳定在±0.08c,远超进口设备的水平。同时,中微公司的第二台刻蚀机也完成调试,国产化率提升至80%,设备采购成本比第一台降低了15%。11月底,试生产的良率稳定在90.5%,并连续一周保持在90%以上,目标达成!

林渊第一时间将这个消息通报给所有董事,并邀请他们参加12月初的技术成果发布会。发布会上,当实时监测屏幕显示良率稳定在90.8%时,会议室里响起了热烈的掌声。唐老笑着说:“林总,你用实际成果证明了自己的判断,这比任何解释都更有说服力。”刘建国虽然没有公开道歉,但也承认:“国产设备的进展超出预期,我对项目的信心增加了不少。”

成果发布会后的战略研讨会上,林渊提出了一个更宏大的计划:“28纳米芯片量产只是第一步,我们要以此为基础,打造完整的芯片产业链生态。下一步,我们需要建设一座更大规模的晶圆厂,不仅生产车载芯片,还要覆盖工业控制、人工智能等领域的芯片需求。”他打开地图,指着上面的标记,“海市张江的一期厂房产能只有每月5万片晶圆,远不能满足市场需求,我们需要选址建设二期基地,目标产能每月20万片。”

这个计划再次引发了董事们的讨论。张海涛担忧地说:“二期厂房的建设成本预计需要200亿美元,加上研发投入,总资金需求将达300亿美元,集团的资金压力会非常大。”林渊早已做好准备,他展示了与国内车企、电子设备厂商签订的长期采购协议:“我们已经签订了总额300亿美元的长期供货协议,覆盖未来5年的产能,这足以支撑二期厂房的投资回报。而且各地政府都在争取这个项目,会提供丰厚的政策支持,能降低至少10%的建设成本。”

就在这时,陈曦带来了一个意外的消息:米国商务部对“实体清单”进行了扩容,将包括中微公司、北方华创在内的20家龙国半导体设备企业列入清单,限制其采购米国的核心零部件。“这意味着我们现有的国产设备升级将面临困难,更不用说未来的14纳米工艺研发。”陈曦的语气凝重,“唯一的出路,就是实现设备核心零部件的完全自主化。”

“这正是我坚持建设二期厂房的深层原因。”林渊的眼神变得异常坚定,“短期来看,自建晶圆厂是天价投入;但从长远来看,这是倒逼整个产业链自主化的唯一途径。我们不仅要造芯片,还要造造芯片的设备,造设备的核心零部件!”他站起身,走到会议室中央,“我提议,成立‘核芯计划’专项基金,总规模500亿美元,用于芯片全产业链的研发和制造,其中200亿美元用于二期晶圆厂建设,300亿美元用于设备和零部件国产化研发。”

这个提议让会议室陷入了沉寂。500亿美元的专项基金,相当于集团当前总资产的60%,风险之大不言而喻。刘建国再次提出反对:“林总,这太激进了!设备和零部件国产化不是一蹴而就的,光刻机的核心部件反光镜,全球只有德国蔡司能生产,我们就算投入100亿美元,短期内也未必能突破。与其把资金投入到不确定的研发中,不如与蔡司合作,获取技术授权。”

“合作?我们试过了!”林渊拿出一份合作谈判纪要,“三个月前,我们就向蔡司提出了反光镜技术授权的申请,对方不仅索要10亿美元的授权费,还附加了‘禁止用于军事相关领域’‘技术更新滞后三年’等苛刻条款。这不是合作,这是技术殖民!”他的声音带着一丝愤怒,“当年我们造汽车,国外说我们造不出发动机,结果宝驰的自主发动机性能远超进口;现在我们造芯片,他们说我们造不出设备,我偏要证明给他们看!”

唐老适时发言:“林总的提议虽然激进,但符合国家战略。我刚从工信部得知,国家计划将半导体产业的自主化率从目前的5%提升至2025年的70%,‘核芯计划’正好契合这个目标,能获得国家层面的大力支持。而且,我已经联系了几家国有银行,他们愿意为专项基金提供100亿美元的低息贷款,年利率仅1.8%。”

资金和政策的双重保障,让董事们的态度逐渐转变。林渊趁热打铁:“我承诺,‘核芯计划’分阶段推进,第一阶段(2014-2016年)完成二期厂房建设和28纳米芯片满产,确保年净利润不低于15亿美元;第二阶段(2017-2020年)实现14纳米芯片量产和设备核心零部件国产化率50%;第三阶段(2021-2025年)突破7纳米技术,设备国产化率达到90%。如果任何一个阶段未完成目标,我愿意辞去集团cEo职务。”

这个沉甸甸的承诺,彻底打消了董事们的顾虑。最终投票时,13位董事支持“核芯计划”,2位反对,专项基金正式获批。散会时,刘建国走到林渊面前,诚恳地说:“林总,我之前的质疑是出于对集团财务安全的考虑,现在我相信你的判断,后续我会全力支持‘核芯计划’。”林渊握住他的手:“感谢理解,核心技术的突破,需要所有人的齐心协力。”

“核芯计划”启动后,林渊立刻投入到二期晶圆厂的筹备工作中。陈曦带来了各地政府的招商方案:“海市、江城、深市、成都等10个城市都给出了非常优厚的条件。海市承诺提供1000亩土地,土地出让金全免,前五年税收全免;江城提出提供20亿美元的专项补贴,同时配套建设芯片人才公寓和学校;深市则表示可以协调本地的华维、中兴等企业,与我们共建产业链联盟。”

林渊仔细分析了各个城市的优势:海市的产业链配套最完善,但土地成本和人才成本较高;深市的市场需求旺盛,但芯片产业的研发氛围不如海市;江城的优势在于政策支持力度大,且位于中部地区,交通便利,能辐射全国市场,更重要的是,江城拥有华中科技大学等顶尖高校,能为项目提供充足的人才储备。“我们不仅要建一座工厂,还要打造一个‘芯谷’,江城的综合优势最突出。”林渊做出了初步判断,但他决定亲自带队前往江城考察。

2013年12月底,林渊一行抵达江城。刚下飞机,就受到了江城政府的热烈欢迎。市委书记亲自陪同考察了规划的产业园区,园区位于东湖新技术开发区,周边已聚集了多家半导体材料企业,距离华中科技大学仅5公里。“我们计划在园区内建设芯片研究院,由华中科技大学的教授牵头,与你们的技术团队联合研发,政府每年投入2亿元研发资金。”市委书记介绍道,“同时,我们已经与教育部沟通,将在华中科技大学设立芯片工程专业,每年培养500名专业人才,定向输送到你们的项目中。”

在与华中科技大学的座谈会上,校长李教授展示了学校在半导体领域的研发成果:“我们的团队在光刻胶材料、离子注入技术等领域已经取得了多项专利,其中自主研发的光刻胶光敏剂,性能达到国际同类产品的95%,成本仅为进口的60%。如果能与你们的项目合作,很快就能实现产业化。”林渊当场决定,与华中科技大学共建“渊渟-华科芯片联合研究院”,首期投入5亿美元研发资金。

考察结束时,林渊与江城政府达成初步合作意向:二期晶圆厂落地江城东湖新技术开发区,总投资200亿美元,占地面积2000亩,预计2014年3月动工,2016年正式投产。江城政府提供20亿美元专项补贴、土地出让金全免、前十年税收全免等政策支持,同时配套建设人才公寓、学校、医院等生活设施,打造完整的产业生态。

返回海市的飞机上,林渊打开系统界面,查看“珠峰计划”的最新进度:“‘珠峰计划’第一阶段进度90%(28纳米芯片良率稳定90.8%,设备国产化率75%,二期厂房选址完成,‘核芯计划’获批),奖励‘国产设备工艺优化数据库’已解锁,可提升国产设备性能10%。主线任务进度更新:挑战硬科技之巅(30%),解锁新支线任务:‘芯谷’生态建设,目标:2016年前完成江城晶圆厂建设,带动50家配套企业入驻,奖励:‘产业链协同管理系统’。”

看着窗外飘过的云层,林渊心中充满了豪情。从董事会上的激烈争论到国产设备的技术突破,从“珠峰计划”的启动到“核芯计划”的获批,他用一次次的坚持和突破,证明了核心技术自主化的必要性。虽然未来还有设备零部件国产化、7纳米技术研发等更艰巨的挑战,但他知道,只要方向正确,坚持下去就一定能成功。

飞机降落在海市虹桥机场时,已是深夜。林渊刚走出机场,就接到了王健的电话:“林总,好消息!我们应用‘国产设备工艺优化数据库’后,刻蚀机的良率再次提升,稳定在92.5%,而且设备的能耗降低了8%!”林渊的脚步顿了顿,脸上露出了欣慰的笑容。他知道,这只是开始,一场席卷龙国半导体产业的“芯”变革,即将在江城拉开序幕。而接下来,各地政府为争夺晶圆厂项目的激烈博弈,将让这场变革更加波澜壮阔。

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